ホロー電極を用いた微細ガス流マイクロプラズマ制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06015

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/12

タイトル(英語): Control of microplasmas with helium miniature gas flow using hollow electrodes

著者名: 山内 隆彦女(東京工業大学),横山 拓馬(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takahiko Yamauti(Tokyo Institute of Technology),Takuma Yokoyama(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|ガス流|ホロー電極|制御電極

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,035 Kバイト