表面波プラズマにおける直流負バイアスによるプラズマ空間電位制御の簡易理論

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06016

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/12

タイトル(英語): Simplified theoretical plasma model about variations in plasma space potentials by negative DC bias in surface-wave excited plasmas

著者名: 金 載浩(東京大学),桂井 誠(東京大学)

著者名(英語): Jaeho Kim(Professor Emeritus),Makoto Katsurai(Professor Emeritus)

キーワード: 表面波プラズマ|マイクロ波プラズマ|プラズマCVD|直流バイアス|プラズマ制御|プラズマ理論モデル

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 961 Kバイト