原料ガス分離分解型プラズマCVD法により生じるH2-N2プラズマ状態の解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06017

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/12

タイトル(英語): Diagnostic studies in H2-N2 plasmas generated by source-gases separated plasma CVD method

著者名: 仲田英 (東京電機大学),蛭田 泰隆(東京電機大学),本橋 光也(東京電機大学),本間 和明(東京電機大学)

著者名(英語): Hideki Nakada(Tokyo Denki University),Yasutaka Hiruta(Tokyo Denki University),Mitsuya Motohashi(Tokyo Denki University),Kazuaki Homma(Tokyo Denki University)

キーワード: プラズマCVD|プローブ法|発光分光分析|H2-N2プラズマ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 794 Kバイト