接点開離金属アークを種とする正バイアス電極を用いた複合プラズマ生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06019

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/13

タイトル(英語): Hybrid plasma generation using positive bias electrode based on a metallic discharge

著者名: 行村 建(同志社大学),明石 周平(同志社大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤直幸 (茨城大学)

著者名(英語): Ken Yukimura(Doshisha University),S. Akashi(Doshisha University),T･ Ikehata(Ibaraki University),N. Sato(Ibaraki University)

キーワード: 金属アーク|PBII&D|イオン注入|蒸着

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,091 Kバイト