大気圧マイクロ波H20プラズマ源の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06021

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/13

タイトル(英語): Development of atmospheric pressure microwave H2O plasma source.

著者名: 非会員 海野真(武威工業大学),正員 小野茂(武威工業大学)

著者名(英語): Makoto Unno(Musashi Institute of technology),Yuhei Matsuo(Musashi Institute of technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of technology),Member (Musashi Institute of technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|回転温度|H20

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト