デュアルプラズマ含浸イオンプロセスによる絶縁物の表面処理

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06028

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/13

タイトル(英語): Surface Treatment of insulator by Dual-Plasma Immersion Ion Process

著者名: 中尾 領揮(茨城大学),野中 裕輔(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),行村 建(同志社大学),東 欣吾(兵庫県立大学)

著者名(英語): Ryoki Nakao(Ibaraki University),Yuya Nonaka(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Ken Yukimura(Doshisha University),Kingo Azuma(University of Hyogo)

キーワード: プラズマイオンプロセス|デュアルプラズマ|表面処理|絶縁物

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 717 Kバイト