正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06033

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/13

タイトル(英語): Preliminary test of TiN coating by the positive-pulse-bias PBII&D

著者名: 佐々木 良太(茨城大学),小池 華人(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),行村 建(同志社大学)

著者名(英語): Ryota Sasaki(Ibaraki University),Akihito Koike(Ibaraki University),Tbkashi Ikehata(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Ken Yukimura(Doshisha University)

キーワード: 正パルスバイアス法|プラズマイオン注入･堆積|表面処理

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,134 Kバイト