動重力効果を利用したプラズマイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06034

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/01/13

タイトル(英語): The experiment for ZnO thin film synthesis by selective momentum control of the plasma ions based on the pondermotive force

著者名: 中野 恭嗣(茨城大学),木下 虞介(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),山内 智(茨城大学),大貫 仁(茨城大学)

著者名(英語): Yasushi Nakano(Ibaraki University),Kousuke Kinoshita(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Satoshi Yamaguchi(Ibaraki University),Jin Oonuki(Ibaraki University)

キーワード: 酸化物材料|プラズマプロセス|磁化イオン|動重力|運動量制御|ZnO

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 939 Kバイト