無電極大気圧マイクロ波H20プラズマ源の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06036

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/25

タイトル(英語): Development of atmospheric pressure electrode less microwave H2O plasma source.

著者名: 海野真 (武蔵工業大学),金子 仁志(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Makoto Unno(Musashi Institute of Technology),Hitoshi Kaneko(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|H2

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,213 Kバイト