放電プラズマの中性粒子温度に関する直接モンテカルロシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06037

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/25

タイトル(英語): Direct Simulation Monte Carlo Analysis of Neutral Particle Temperature in Discharge Plasmas

著者名: 市来高彦 (東京工業大学),坂本 武士(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Takahiko Ihchiki(Tokyo Tech.),Takeshi Sakamoto(Tokyo Tech.),Haruaki Matsuura(Tokyo Tech.),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Tech.)

キーワード: 直接モンテカルロシミュレーション|放電プラズマ|希ガスプラズマ|中性粒子|ガス温度|希薄流|非平衡

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 841 Kバイト