CuをターゲットとしたAr及びO2ガス雰囲気中スパッタリングの発光分析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06041

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/25

タイトル(英語): Spectroscopic analysis of plasma during sputtering using Cu target in the atmosphere of Ar or O2 gas

著者名: 小島 幹雄(宇都宮大学),柏倉 隆之(宇都宮大学),鈴木 光政(宇都宮大学)

著者名(英語): Mikio Kojima(Utsunomiya University),Takayuki Kashiwakura(Utsunomiya University),Mitsumasa Suzuki(Utsunomiya University)

キーワード: スパッタリング|分光分析法|アルゴンガス|酸素ガス|Cuターゲット

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 772 Kバイト