ECRプラズマ中における直流バイアス基板への軸方向電位分布測定とナノダイヤモンド薄膜形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06042

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/25

タイトル(英語): Measurement of Axial Potential Distribution towards a Positively Biased Substrate and Nan diamond Film Formation in an ECRU Plasma

著者名: 堤井君元 (九州大学),池田 知弘(九州大学)

著者名(英語): Kungen Teii(Kyushu University),Tomohiro Ikeda(Kyushu University)

キーワード: プラズマ電|基板バイア|ナノダイヤモン|ECRプラズマ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,121 Kバイト