容量結合型放電による気体放電処理

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06047

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/26

タイトル(英語): Gas Electrical Processing by Capacity-Coupled-Discharge

著者名: 岡部 恭寛(武蔵工業大学),江原由泰 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Takahiro Okabe(Musashi Institute of Technology),Yoshiyasu Ehara(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 大気圧|無声放電|オゾン|Nox

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 703 Kバイト