シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06048

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/26

タイトル(英語): A hybrid plasma generation triggered by shunting arc discharge using a positively-biased electrode

著者名: 行村建(同志社大学),今井 貴文(同志社大学),イゴールレフチェンコ(シドニー大学),高木 浩一(岩手大学),池畑隆(茨城大学)

著者名(英語): K. Yukimura|T. Imai|I. Levchenko|K. Takaki

キーワード: アーク放電|誘起プラズマ|複合プラズマ|シャンティングアーク|プラズマイオン注入堆積法

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 915 Kバイト