高周波放電酸素プラズマによる固体表面洗浄

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06051

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/26

タイトル(英語): Solid surface cleaning by means of RF discharge oxygen plasma

著者名: 佐藤 和明(武蔵工業大学),吉田 優弥(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Kazuaki Sato(Musashi Institute of Technology),Yuya Yoshida(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 高周波|低圧プラズマ|酸素|放電洗浄|ステンレス|接触角|X線光電子分光法

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,033 Kバイト