高周波プラズマアルコールCVD法によるカーボンナノチューブの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06052

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/05/26

タイトル(英語): Synthesis of carbon nanotubes by RF plasma CVD method using alcohol

著者名: 岡山 倫之(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Noriyuki Okayama(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: カーボンナノチューブ|誘導結合プラズマ|化学気相堆積法

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,288 Kバイト