Atmoshperic Pressure Microqave H2O Plasma Source -About the Plasma Characteristics

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06056

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/08/07

タイトル(英語): Atmoshperic Pressure Microqave H3O Plasma Source -About the Plasma Characteristics

著者名: Y,Matsuo|M. Unno,|S. Ono Dept. of Electrical Eng,|Musashi Institute of Technology,|Tokyo,

著者名(英語): Y.Matsuo,|M.,Unno|S. Ono Dept. of Electrical Eng,|Musashi Institute of Technology,|Tokyo,

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,078 Kバイト