EUV Source Development Using Pulsed High-Current Discharge

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06063

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/08/07

タイトル(英語): EUV Source Development Using Pulsed High-Current Discharge

著者名: Nobuaki Oshima(Nagaoka University of Technology,Japan),Toru Kimura(Nagaoka University of Technology,Japan),Syouichi Inokuchi(Nagaoka University of Technology,Japan),Weihua Jiang(Nagaoka University of Technology,Japan)

著者名(英語): Nobuaki Oshima(Nagaoka University of Technology,Japan),Toru Kimura(Nagaoka University of Technology,Japan),Syouichi Inokuchi(Nagaoka University of Technology,Japan),Weihua Jiang(Nagaoka University of Technology,Japan)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 951 Kバイト