シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06088

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/11/10

タイトル(英語): The spectrum characteristics of a hybrid plasma process containing shunting arc discharge

著者名: 今井 貴文(同志社大学),行村 建(同志社大学),高木 浩一(岩手大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Takafumi Imai(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Koichi Takagi(Iwate university),Takashi Ikehata(Ibaragi university)

キーワード: シャンティングアーク放電|アモルファスカーボン薄膜|プラスバイアス|

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 921 Kバイト