微細ガス流マイクロプラズマで生成されるイオン流の特性に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST06094

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2006/11/10

タイトル(英語): Study of characteristics of ion flow generated by microplasmas with helium miniature gas flow

著者名: 山内 隆彦(東京工業大学),南野健一 (東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takahiko Yamauti(Tokyo Institute of Technology),Nanno Kenichi(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|ガス流|イオン源|イオン流

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,006 Kバイト