容量連結型電極を用いたプラズマ生成における回路パラメータの影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07009

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/01/26

タイトル(英語): Influence of Circuit Parameter in Production of Plasma by Capacity-Coupled Electrode

著者名: 佐々木 忠弘(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),真瀬 寛(茨城大学),佐藤徳芳 (東北大学)

著者名(英語): Tadahiro Sasaki(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Hiroshi Mase(Ibaraki University),Noriyoshi Sato(Tohoku University)

キーワード: 容量結合型多極放電|誘電体バリア放電|放電電流|パルス幅|インピーダンス|電力|Capacity-coupled multi-discharge|dielectric barrier discharge|discharge current|pulse width|impedance|power

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 453 Kバイト