パルス変調Ar-N2誘導熱プラズマによる窒素原子数増幅効果の電力・変調条件依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07015

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/01/26

タイトル(英語): Effect of modulation condition on excited nitrogen atoms downstream of Ar-N2 pulse-modulated induction thermal plasma

著者名: 林 耕平(金沢大学),中村 司(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Kohei Hayashi(Kanazawa University),Tsukasa Nakamura(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|パルス変調|窒化処理|励起窒素原子|OES|thermal plasma|pulse modulation|nitriding treatment|excited nitrogen atom|optical emission spectroscopic

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 603 Kバイト