新型任意変調誘導熱プラズマ炉の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07016

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/01/26

タイトル(英語): Development of Arbitrary-waveform Modulated Induction Thermal Plasma Reactor

著者名: 森下 悠(金沢大学),奥永 京太(金沢大学),伏江俊祐 (金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yu Morishita(Kanazawa University),Kyota Okunaga(Kanazawa University),Shunsuke Fushie(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|変調|PWM|PLL|自動同調|インピーダンスマッチング|共振特性|Arスペクトル|放射強度|inductively coupled thermal plasma|modulation|PWM|PLL|automatic tuning|impedance matching|resonance characteristic|Ar spectral line|radiation intensity

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 633 Kバイト