プラズマフォーカスを用いた材料開発研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07020

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/01/26

タイトル(英語): Deposition of thin film using plasma focus device

著者名: 中田 洋平(富山大学),水野 俊哉(富山大学),Yosefi Hamid Reza (富山大学),北村 岩雄(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),升方 勝己(富山大学)

著者名(英語): Youhei Nakada(University Of Toyama),Toshiya Mizuno(University Of Toyama),Yousefi Hamid Reza (University Of Toyama),Iwao Kitamura(University Of Toyama),Hiroaki Itou(University Of Toyama),Katumi Masugata(University Of Toyama)

キーワード: プラズマフォーカス|カーボン薄膜|プロトンビーム|Plasma Focus|thin carbon film|proton beam

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 346 Kバイト