静電プローブ計測を用いたパルス変調誘導熱プラズマの過渡応答特性の解明

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07022

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/01/26

タイトル(英語): Electrostatic Probe Measurement of Pluse Modulation Thermal Plasma

著者名: 竹口 雄治(金沢大学),川下 嘉章(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学)

著者名(英語): Yuji Takeguchi(Kanazawa University),Yoshiki Kawashita(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|パルス変調|静電プローブ|電子温度|電子密度|induction thermal plasma|pulse modulation|electrostatic probe|electron temperature|electron density

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 543 Kバイト