2.45GHzマイクロ波を用いた大気圧吹き出し形プラズマ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07024

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): 2.45GHz microwave excited blowing-type atmospheric-pressure plasma

著者名: 金 載浩(産業技術総合研究所),金 東ミン(東京大学),大崎 博之(東京大学),桂井 誠(東京大学)

著者名(英語): Jaeho Kim(AIST),Dongmin Kim(University of Tokyo),Hiroyuki Ohasaki(University of Tokyo),Makoto Katsurai(University of Tokyo)

キーワード: マイクロ波プラズマ|マイクロプラズマ|大気圧プラズマ|マイクロストリップライン|microwave plasma|microplasma|atmospheric pressure plasma|microstrip line

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 617 Kバイト