プラズマ洗浄装置における酸素ラジカル及びイオン照射効果の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Oxygen radical and ion irradiation effect in plasma cleaning equipment

著者名: 吉田 優弥(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Yuya Yoshida(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: プラズマ洗浄|酸素プラズマ|酸素ラジカル|R.F.プラズマ|白金線触媒プローブ|plasma cleaning|oxygen plasma|oxygen radical|R.F. plasma|platinum wire catalytic probe

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 481 Kバイト