数十kW級大電力パルスグロー放電電気的特性の圧力依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07027

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Generation of droplet-free high-power pulsed-sputtering (HPPS) glow plasma with several tens of kilo-watts

著者名: 行村 建(同志社大学),三枝亮介 (同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Ken Yukimura(Doshisha University),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD)

キーワード: パルスグロー|パルスマグネトロンスパッタ|HIPIMS|HPPMS|HPPS|Pulsed glow discharge|Pulsed magnetron sputtering|Ionized sputtering|Highly charged metal ions|Highly density plasma|High power pulse sputtering|HIPIMS|HPPMS|HPPS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 369 Kバイト