質量選択的運動量制御に向けたECR酸素プラズマの低温部引き出しと動重力増強の観察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07029

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): The investigation of the ponderomotive force's enhancement accompanying with the extraction of lower energy electrons from ECR oxygen plasma for mass-selective momentum control

著者名: 藪内 祐二(茨城大学),菅谷聡一 (茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),山内 智(茨城大学),大貫 仁(茨城大学)

著者名(英語): Yuji yabuuchi(Ibaraki University),Souichi Sugaya(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Satoshi Yamauchi(Ibaraki University),Jin Oonuki(Ibaraki University)

キーワード: 質量選択的運動量制御|動重力|磁化イオン|ECRプラズマプロセス|酸化物材料|ZnO|低電子温度|mass-selective momentum control|ponderomotive force|magnetized ions|ECR plasma processing|oxide compound materials|ZnO|low electron temperature

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 454 Kバイト