デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07030

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Improvement of Accuracy for Measurements of Electron Density and Electron Temperature with Dual Surface Wave Probes

著者名: 中村 圭二(中部大学),菅井 秀郎(中部大学)

著者名(英語): Keiji Nakamura(Chubu University),Hideo Sugai(Chubu University)

キーワード: デュアル表面波プローブ|電子密度|電子温度|反応性プラズマ|dual surface wave probe|electron density|electron temperature|reactive plasma

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 386 Kバイト