バイアスされた高周波大気圧プラズマのプローブ計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): A probe measurement for atmospheric rf discharge plasma applying bias voltage

著者名: 藤田 佳正(茨城大学),五来 亮平(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Yoshimasa Fujita(Ibaraki University),Ryouhei Gorai(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: 誘電体バリヤ放電|グロー様プラズマ|大気圧高周波プラズマ|バイアス|ラングミュアプローブ|電位制御|DBD|glow-like plasma|atmospheric rf plasma|biasing|Langmuir probe|potential control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 429 Kバイト