キセノンガスの高周波大気圧グロー放電に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07042

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): Study of radio frequency atmospheric glow discharge in xenon gas

著者名: 五十木 幹彦(HOYA CANDEO OPTRONICS),水田 泰治(HOYA CANDEO OPTRONICS),大島啓嘉 (HOYA CANDEO OPTRONICS),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Mikihiko Gojuuki(HOYA CANDEO OPTRONICS CORP.),Taiji Mizuta(HOYA CANDEO OPTRONICS CORP.),Hiroyoshi Ohshima(HOYA CANDEO OPTRONICS CORP.),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: グロー放電|高周波放電|キセノンガス|誘電体バリア|大気圧プラズマ|エキシマ|真空紫外|glow discharge|RF discharge|xenon gas|dielectric barrier|atmosphere plasma|excimer|vacuum ultra violet

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 364 Kバイト