衝撃電界電子加速によるCF4分子，CFxラジカル分解の効率

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07048

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): Efficiency of CF4 molecule and CFx radical decomposition by impulse-field electron acceleration

著者名: 荒木田大嗣 (北海道大学),江口 礼良(北海道大学),森 直樹(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),須田 善行(北海道大学)

著者名(英語): Daishi Arakita(Hokkaido University),Noriyoshi Eguchi(Hokkaido University),Naoki Mori(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)

キーワード: 四フッ化炭素|衝撃電界|非平衡プラズマ|電子加速|エネルギー効率|CF4|impulse electric field|non-equilibrium plasma|electron acceleration|energy efficiency

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 396 Kバイト