直流電圧印加による表面波プラズマパラメータの改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07050

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): The improvement of surface wave plasma parameters with DC bias

著者名: 武捨章洋 (東京理科大学),工藤祐輔 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Akihiro Musha(Tokyo University of Science),Yusuke Kudo(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波プラズマ|直流電圧印加|電子密度|電子温度|パワーバランス|surface wave plasma|DC bias|electron density|electron temperature|power balance

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 391 Kバイト