プラズマベースイオン注入法を用いた液体材料（H2O）からのプラズマの作成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07067

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/21

タイトル(英語): Plasma generation of liquid material (H2O) using by PBII

著者名: 田中 武(広島工業大学),若元 郁夫(MHIソリューションテクノロジ),髙木俊宜 (広島工業大学)

著者名(英語): Takeshi Tanaka( Hiroshima Institute of Technology),Ikuo Wakamoto(MHI Solution Technology Co.,Ltd. ),Toshinori Takagi(Hiroshima Institute of Technology)

キーワード: プラズマベースイオン注入法|過酸化水素|水|滅菌

要約(日本語): テストピースに負の高圧パルス電圧を印加するプラズマイオン注入法は、3次元加工物に適用できる滅菌プロセスに応用できる。数Paの水蒸気持つプロセス中の電極に高圧パルス電圧を印加する。プラズマを用いた滅菌プロセスに一般的に用いられるOHラジカルを、パルス電圧だけの電圧により生成された水蒸気自己点弧型プラズマ中に見出された。

要約(英語): Plasma based ion implantation (PBII) with high negative pulsed voltage applied to the test specimen has been applied to the sterilization process as a technique suitable for three-dimensional work pieces. Pulsed high negative voltage　was applied to the el

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト