マイクロストリップ線路を用いたマイクロ波励起大気圧吹き出し形プラズマの放電特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07072

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/21

タイトル(英語): Discharge characteristics of microwave excited blowing-type atmospheric-pressure plasmas\nusing microstrip-line technology

著者名: 金 載浩(産業技術総合研究所),桂井 誠(放送大学東京文京センター),キム ドンミン(東京大学),大崎 博之(東京大学)

著者名(英語): Jaeho Kim(AIST),Makoto Katsurai(Tokyo Bunkyo Study Center,The Open University of Japan),Dongmin Kim(University of Tokyo),Hiroyuki Ohasaki(University of Tokyo)

キーワード: マイクロ波プラズマ|マイクロプラズマ|大気圧プラズマ|マイクロストリップライン|分光測定|回転温度

要約(日本語): 本研究では、マイクロストリップ技術を用いた2.45GHzマイクロ波励起大気圧吹き出し形プラズマ装置を開発した。ガス流量の変化（0.5 L/min～3.5 L/min）に対する放電特性を調べるためにプラズマ発光の観察を行った。また、プラズマ内のガス温度を調べるためにプラズマ分光測定を行い、窒素分子の回転温度を求めた。それらの実験結果から、吹き出るプラズマには発光強度が強くて高温（1500 K以上）の領域と発光強度が弱くて低温（900 K近傍）の領域があることが分かった。また、ガス流量の変化に対して放電モード

要約(英語): Argon plasmas blowing out in atmospheric air from a gas nozzle with a cross-sectional area of 1 mm2 were produced by a 2.45 GHz microwave excited plasma device based on microstrip line. Variations in plasma optical emission patterns and gas temperatures w

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 554 Kバイト