表面波プラズマ源の最適設計のためのシミュレーションコードの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07078

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/21

タイトル(英語): Development of Simulation Code for Optimal Design of Surfacewave Plasma Source.

著者名: 秋田 友子(京都工芸繊維大学),宮岸 誠(京都工芸繊維大学),三瓶明希夫 (京都工芸繊維大学),比村 治彦(京都工芸繊維大学),政宗 貞男(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tomoko Akita(Kyoto Institute of Technology),Makoto Miyagishi(Kyoto Institute of Technology),Akio Sanpei(Kyoto Institute of Technology),Haruhiko Himura(Kyoto Institute of Technology),Sadao Masamune(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 表面波プラズマ|数値解析シミュレーション|FDTD法

要約(日本語): 2.45GHzのマイクロ波を用いたシングルスロットアンテナ型の表面波プラズマ源のシミュレーションコードを開発している．電磁波の伝播解析にはFDTD法を用いて解いた．シングルスロットアンテナ型の表面波プラズマ源における実験結果、シミュレーションモデルの詳細，励起される表面波の電場分布について述べる予定である．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 431 Kバイト