１次元流体モデルによる大気圧希ガス直流放電プラズマの数値シミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07079

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/21

タイトル(英語): Numerical Sumulation of Atmospheric Pressure DC Discharge Plasmas in Rare Gases using One-Dimensional Fluid Model

著者名: 小田 昭紀(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学)

著者名(英語): Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 大気圧グロー放電|直流グロー放電|ヘリウム|放電シミュレーション|流体モデル

要約(日本語): 大気圧グロー放電は，材料プロセスや医療応用において魅力的なプラズマ源の１つである．本研究では，空間１次元流体モデルによりmmサイズの放電ギャップにおける大気圧He直流グロー放電のシミュレーションを行った.計算から得られた電流－電圧特性から，電流の増加に対し放電維持電圧が緩やかに減少する傾向がみられた．これは低圧直流グロー放電における前期グローと類似した特性である．また，荷電粒子によるガス加熱が放電特性へ与える影響に関し検討を行った．

要約(英語): Atmospheric-pressure glow discharges are one of attractive discharge sources for the material processing, biomedical applications, etc. In this study, a simulation of atmospheric-pressure helium dc discharges with a discharge-gap of mm-size was performed

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 430 Kバイト