炭化水素プラズマによるカーボンナノチューブ生成とそのプラズマ解析 -カーボンナノチューブへの流量割合の影響-

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07082

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/22

タイトル(英語): Growth of Carbon Nanotubes by Hydrocarbon Plasma and its Plasma Analysis ?Influence of Gas Flow Ratio on Carbon Nanotube Growth?

著者名: 須田 善行(北海道大学),沖田 篤士(北海道大学),小田 昭紀(名古屋工業大学),中村 潤児(筑波大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井洋輔 (北海道大学)

著者名(英語): Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Atsushi Okita(Hokkaido University),Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Junji Nakamura(University of Tsukuba),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakaia(Hokkaido University)

キーワード: カーボンナノチューブ|CH4/H2 プラズマ|１次元流体モデル

要約(日本語): 本研究の目的はプラズマ化学気相堆積によるカーボンナノチューブ（CNT）生成を制御することである。本目的の達成にはプラズマ気相反応、触媒表面反応、CNT成長機構の相関の解明が必要であると考えている。本実験では、炭化水素系のガス（CH4/H2）を用い、流量割合を変化させた場合のCNTの長さ・直径・数密度を評価した。また、そのときのプラズマ気相の状態を１次元流体モデルによりプラズマの解析し、流量割合に応じたイオン、ラジカル、中性種について供給量の観点から議論する。

要約(英語): Carbon nanotubes (CNTs) were produced using CH4/H2 plasma and simulated its plasma using numerical calculation. Excess H2 supply to CH4/H2 made the diameter distribution of CNTs broader and the CNTs yield lower. From the simulation result, non-radical neu

原稿種別: 日本語

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