電子エネルギー分布のプラズマ密度依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07087

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/22

タイトル(英語): Dependence of Electron Energy Distribution on Plasma Density

著者名: 酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: 放電プラズマ|プラズマ密度|電離度|電子エネルギー分布|クーロン散乱|ボルツマン方程式

要約(日本語): 近年、異なったプラズマ密度を有する種々のプラズマが技術に導入されている。ここでは、Ar,Hg,He/N2/CO2ガス中での電子エネルギー分布と関連プラズマパラメータのプラズマ密度依存性について報告する。低E/Nでは、電子エネルギー分布が電離度１０-6からマックスウエル分布に近づくことが示された。

要約(英語): Recently, various types of plasmas with a different plasma density are utilized for many technological applications. The dependence of the electron energy distribution F(e) and plasma parameters on plasma densities in Ar, Hg and He/N2/CO2 gases is reporte

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 338 Kバイト