窒素雰囲気でのコロナ放電イオナイザーの動作特性と除電効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07088

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/22

タイトル(英語): Characteristics and neutralization effect of a corona discharge ionizer in nitrogen gas

著者名: 村上太一(岩手大学),大久保貴広(岩手大学),高橋和貴(岩手大学),向川政治(岩手大学),高木浩一(岩手大学),藤原民也(岩手大学),伊藤剛(日立国際電気),豊田一行 (日立国際電気)

著者名(英語): Taichi Murakami|Takahiro Ohkubo|Kazunori Takahashi|Seiji Mukaigawa|Kouichi Takaki|Tamiya Fujiwara|Takeshi Ito

キーワード: 除電|イオナイザー|コロナ放電|表面電位

要約(日本語): コロナ放電方式のイオナイザーの窒素雰囲気中での動作特性とウェーハ除電の実験結果を報告する。窒素雰囲気中では負電荷が正電荷よりも多いことがわかった。電荷量・電流の値は、負電荷が正電荷よりも５倍程度大きい。負極動作の電流には大きなスパイクが無数現れており、これが負電荷を大きくしていると考えられる。Siウェーハの除電には正電荷と負電荷の差異はイオンバランスの低下に直結する。本研究では、直流・交流同時印加方式を考案し、イオンバランスを向上させて、多層積載Siウェーハを除電した。

要約(英語): 　We have reported that there is a remakeable difference in the time for neutralization of a silicon wafer between positive and negation ions. Using a corona discharge ionizer, the neutralization time of the wafer charged up positively is shorter than that

原稿種別: 日本語

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