ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電による発光スペクトルの観測およびプラズマ密度の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST07096

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2007/12/22

タイトル(英語): Emission spectra and plasma density of High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge.

著者名: 三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|電流密度|イオンシース

要約(日本語): 大電力であるHIPIMSに相当する電力密度の金属プラズマ源(HPPS)を提案する。HPPSはHIPIMSに比べ小型であり、Ｅ×Ｂドリフトは作用しない。本報告では電圧、電流を観測し、それについて検討する。また、発光スペクトルの観測を行い、プラズマの様子を観測する。そして、プラズマ密度について検討する。

要約(英語): We propose that the metal plasma source that uses the magnetic field be generated by a new method. It differs from the conventional magnetic sputter, and the E×B drift doesn’t act at the method because the electric field and the magnetic field are paralle

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 432 Kバイト