EUV光源用超高繰り返しパルスパワー電源の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/01/25

タイトル(英語): High Repetition Rate Pulsed Power Generator for EUV Light Source

著者名: 長野 清彦(熊本大学),谷富慶浩 (熊本大学),富丸薫文 (熊本大学),勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Kiyohiko Nagano(Kumamoto University),Yoshihiro Tanitomi(Kumamoto University),Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: 超高繰返しパルスパワー電源|磁気パルス圧縮回路|IGBT|極端紫外線光源|放電生成プラズマ|Highly repetitive pulsed power generator|magnetic pulse compressor|IGBT|EUV light source|discharge produced plasma

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト