レーザーアシスト放電プラズマEUV光源の特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08005

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/01/25

タイトル(英語): Laser assisted discharge plasmas for EUV source

著者名: 富丸薫文 (熊本大学),大田 洋(熊本大学),長野 清彦(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Hiroshi Ota(Kumamoto University),Kiyohiko Nagano(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: レーザーアシスト放電|Zピンチ|極端紫外線光源|レーザーアブレーション|時間分解イメージング|Laser-assist discharge|Z pinch|extreme ultraviolet light source|laser ablation|time resolved imaging

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,046 Kバイト