低圧高密度プラズマを用いたダイヤモンド薄膜形成の低圧限界

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08008

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/01/26

タイトル(英語): On a low-pressure limit of diamond chemical vapor deposition in a low-pressure high-density plasma

著者名: 堤井君元 (九州大学)

著者名(英語): Kungen Teii(Kyushu University)

キーワード: ダイヤモンド|プラズマCVD|ラジカル|プラズマ診断|diamond|plasma CVD|radical|plasma diagnostics

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 739 Kバイト