Electrical characteristics of the hybrid plasma of 195 kHz-burst RF plasma with arc-free HPPS glow plasma in reactive gases

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/01/26

タイトル(英語): Electrical characteristics of the hybrid plasma of 195 kHz-burst RF plasma with arc-free HPPS glow plasma in reactive gases

著者名: Ken Yukimura(Doshisha University),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Kingo Azuma(University of Hyogo),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD)

著者名(英語): Ken Yukimura(Doshisha University),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Kingo Azuma(University of Hyogo),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD)

キーワード: HPPS|HIPIMS|HPPMS|Glow plasma|sputtering|magnetron sputter|RF plasma|HPPS|HIPIMS|HPPMS|Glow plasma|sputtering|magnetron sputter|RF plasma

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 859 Kバイト