グリッド制御を用いたプラズマイオンプロセス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08012

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/01/26

タイトル(英語): Plasma-Based Ion Process with A Control Grid

著者名: 池畑 隆(茨城大学),野中 裕彌(茨城大学),佐藤広輝 (茨城大学),佐藤弘基 (茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),行村 建(同志社大学)

著者名(英語): Takashi Ikehata(Ibaraki University),Yuya Nonaka(Ibaraki University),Hiroki Sato(Ibaraki University),Hiroki Sato(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Ken Yukimura(Doshisha University)

キーワード: プラズマ|プラズマイオンプロセス|表面処理|グリッド電極|イオンエネルギー制御|帯電制御|二次電子放射|Plasma|plasma-based ion process|surface treatment|grid electrode|ion-energy control|charge control|secondary emission

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 662 Kバイト