誘導性結合型Ar/N2プラズマ特性に関する実験的研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08016

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/23

タイトル(英語): Experimental study on properties of inductively coupled Ar/N2 plasmas

著者名: 春日井 宏樹(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学)

著者名(英語): Hiroki Kasugai(Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: N2|Ar希釈|ICP|プローブ測定|発光分光測定|電子エネルギー分布|振動温度|回転温度|N2解離率|N2|Ar dilution|ICP|probe measurements|optical emission spectroscopy|electron energy distribution|vibrational temperature|rotational te

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 511 Kバイト