大気圧大型リモートプラズマ源の開発と親水化処理実験

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/23

タイトル(英語): Development of atmospheric large sized remote plasma source and experiment of hydrophilization treatment

著者名: 佐々木 良太(東京工業大学),熊谷 航(東京工業大学),宮原 秀一(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学)

著者名(英語): Ryota Sasaki(Tokyo Institute of Technology),Wataru Kumagai(Tokyo Institute of Technology),Hidekazu Miyahara(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|リモートプラズマ|表面処理|親水化|Atmospheric plasma|remote plasma|surface treatment|hydrophilization

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 838 Kバイト