周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08026

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/24

タイトル(英語): Influence of probe shape on the electron density measurements with frequency shift probe

著者名: 張祺 (中部大学),中村 圭二(中部大学),菅井 秀郎(中部大学)

著者名(英語): Zhang Qi(Chubu University),K. Nakamura(Chubu University),H. Sugai(Chubu University)

キーワード: 周波数シフトプローブ|電子密度|スリット幅|プローブ形状|Frequency shift probe|electron density|slit width|probe shape

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 592 Kバイト